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能量分散型X线分光器(EDS)是把电子线照射到试料上,通过检出产生的特性X线来分析试料所含元素的装置。通过电子线照射试料激发的特性X线的能量测定得到光谱,从而可以进行试料表面元素分析。
1.数千ppm等级的定量精度
・检出精度根据元素不同而有所差异,大概为数千ppm(个数%)等级。检出界限为1500ppm~2000ppm。
2.色彩映射
・用色彩映射可以表示出在被分析试料的哪里、存在哪种元素、以及元素量是多少。
3. 多元素的同时测定
・因为可以同时测定B~U的元素,所以可以用于筛选未知元素。
4. 短时间内的分析
・因为可以同时对多元素进行测定,所以可以在短时间内实施定性定量分析、色彩映射。
5.低真空模式下的分析
・通过通用SEM的低真空模式,在容易挥发气体的试料和绝缘性试料的无蒸镀观察方面发挥威力。
若对半导体检出器射入X线,可以生成与X线能量相当数量的电子-正孔对,通过测定此数量(电流)可以知道X线的能量。检出器为了减少电气杂音,利用液氮冷却,特征是可以同时测定从B到U的X线。
1.合金层观察
・合金层组织比和有无形成合金层
・合金层厚度
2.异物分析
・基板附着异物
・filter和roller等制造工序异物
3.电镀的断面观察
PCBA掉件不良案例分析,重点讲解PCBA失效分析过程,分析工具,分析方法,掉件不良原因润湿不良的产生原因。
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