异物成份分析

1.数千ppm等级的定量精度

・检出精度根据元素不同而有所差异，大概为数千ppm（个数％）等级。检出界限为1500ppm～2000ppm。

2.色彩映射

・用色彩映射可以表示出在被分析试料的哪里、存在哪种元素、以及元素量是多少。

3. 多元素的同时测定

・因为可以同时测定B～U的元素，所以可以用于筛选未知元素。

4. 短时间内的分析

・因为可以同时对多元素进行测定，所以可以在短时间内实施定性定量分析、色彩映射。

5.低真空模式下的分析

・通过通用SEM的低真空模式，在容易挥发气体的试料和绝缘性试料的无蒸镀观察方面发挥威力。

若对半导体检出器射入X线，可以生成与X线能量相当数量的电子-正孔对，通过测定此数量（电流）可以知道X线的能量。检出器为了减少电气杂音，利用液氮冷却，特征是可以同时测定从B到U的X线。

1.合金层观察

・合金层组织比和有无形成合金层

・合金层厚度

2.异物分析

・基板附着异物

・filter和roller等制造工序异物

3.电镀的断面观察