异物成份分析

   EDS，也就是能量分散型X线分光器，是指把电子线照射到试料上，通过检出产生的特性X线来分析试料所含元素的装置。作用是通过电子线照射试料激发的特性X线的能量测定得到光谱，从而可以进行试料表面元素。

  那么，EDS的工作原理是怎么样的呢？又能检测什么呢？

  若对半导体检出器射入X线，可以生成与X线能量相当数量的电子-正孔对，通过测定此数量（电流）可以知道X线的能量。检出器为了减少电气杂音，利用液氮冷却，特征是可以同时测定从B到U的的X线。

1. 数千ppm等级的定量精度

  检出精度根据元素不同而有所差异，大概为数千ppm（个数％）等级。检出界限为1500ppm～2000ppm。

2. 色彩映射

  用色彩映射可以表示出在被分析试料的哪里、存在哪种元素、以及元素量是多少。

3. 多元素的同时测定

  因为可以同时测定B～U的元素，所以可以用于筛选未知元素。

4. 短时间内的分析

  因为可以同时对多元素进行测定，所以可以在短时间内实施定性定量分析、色彩映射。

5. 低真空模式下的分析

  通过通用SEM的低真空模式，在容易挥发气体的试料和绝缘性试料的无蒸镀观察方面发挥威力。